重现性：＜0.002mm
　　台面大小：700＊650mm
　　解析力标准：0.001mm
　　机台重量：750kg（包括机架）
　　平面：3.5＋5L／1000µm
　　影像放大倍率：20x-120x、30x-225x
　　示值（X、Y）：3＋5L／1000µm
　　光学放大倍率：0.65X-4.5X
　　工作行程（X／Y／Z）：600＊500＊200mm、1000＊800＊200mm
　　外形尺寸（WxDxH）：1250＊808＊1680mm
　　测量范围（X＊Y＊Z）：600＊500＊100mm
　　电源：220V、50±5HZ
　　工作台承重：3-5KG均布
　　CCD：专用彩色1／3英寸高解析480TV线
　　测量理论：晶元光罩坐标系统