质量流量控制器
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图文详情
产品属性
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功能 | 流量计/控制器( 气体质量流量控制器 ) | |
基本型号 | LF400-F | |
满量程流量范围(N 2 ) | SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,500 |
SLM | 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
(%F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±1.5(>15SLM.) | ||
控制阀动作型式 | 常闭式 | |
线性(%F.S.) | ±0.5~1(≤15SLM) | |
±1.5%(>15SLM.) | ||
重复(%F.S.) | ±0.2 | |
响应时间(sec) | ≤1 | |
流量输出信号 | 0-+5 DCV | |
流量设定信号 | 0-+5 DCV | |
电器接头 | DB15 pin(接头) | |
工作环境温度 | (℃) | 5~45 |
工作压差 | (MPa) | 0.1~0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1*10 -9 |
耐压 | 10MPa | |
介质接触材质 | 304,316,316L | |
密封材料 | 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯 | |
接头尺寸 | VCR 1/4,1/2 | |
Swagelok1/8",1/4" ,3/8" ,1/2"或φ3,φ6,φ8,φ10,φ12mm | ||
电源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA |