高端超精密成就卓越性能
　　
　　仪器特点
　　◆高端配置，超精密全自动测量，四轴CNC控制；
　　◆三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统；
　　◆Renishaw开放式光栅尺，高、稳定性好；
　　◆Navitar自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；
　　◆全鼠标、手柄操作，简单易用；
　　◆可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源；
　　◆自动对焦测高，可加装接触式测头；
　　◆Vispec全自动影像测量软件（高端版）；
　　◆提供多种行程规格配置，如222、322、332、432、442、542等。
　　
　　技术参数
　　
　　XY轴： E2＝（2.0＋L／300）µm　　
　　Z轴： E1＝（3.0＋L／200）µm　　
　　重复
　　XY轴： ＜2µm　　
　　Z轴： ＜3µm　　
　　速度：XY轴：200mm／S　　
　　Z轴： 100mm／S　　
　　光栅尺分辨率：1.0µm，0.5µm，0.1µm（可选）　　
　　CCD：SONY 1／2"CCD黑白／彩色　　
　　光源：轮廓光
　　LED冷光源，256级亮度可调　　
　　表面光：6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调　　
　　同轴光：LED冷光源，256级亮度可调　　
　　光学系统：Navitar 6.5：1可变倍，放大倍率29～163或58～326　　
　　软件：Vispec测量软件（高端版）　　
　　运动控制：自主的CNC直流伺服系统　　
　　保修期：1年　　
　　工作环境：温度20℃±2℃，温度变化＜2℃／hr，湿度30～80％　　
　　振动＜0.002g，低于15Hz　　
　　电源：90～264VAC，47-63Hz，10Amp。

其他说明

型号	量程（mm）	外部尺寸（mm）	重量（kg）	承重（kg）
VMU322	300×200×200	650×750×1100	140	25
VMU432	400×300×200	750×900×1100	180	25
VMU542	500×400×200	850×1050×1100	220	25