INTEK IMS三次元Premium600C
　　型号：Premium600C
　　范围：600×500×150mm
　　测量准确度：1.9＋L/300（um）
　　测量准确度：3.0＋L/150（um）
　　分辨率：0.1um
　　光学：可编程12：1光学放大20x-245x with1xObject Lens
　　照明：LED Coaxial Light/LED背光源
　　表面LED环形灯：LED环形灯5Rings×8 Sectors×40 Segments
　　线扫描激光器：平整度激光扫描分析软件
　　同轴激光器（可选）：可补偿同轴激光器
　　接触式探针：RENISHAW接触式探针使用iTouch软件