轮廓仪
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图文详情
产品属性
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技术参数 | |||
X 轴 | 测量范围 | 50mm ( CV-1000 )或 100mm () CV-2000 | |
分辨率 | 0.2μ m | ||
测量方法 | 反射型光栅尺 | ||
驱动速度 | 0.2mm / s\\\\\\\\1mm / a 和手动 | ||
测量速度 | 0.02-5mm / s | ||
测量方向 | /向后 | ||
直线度 | 3.5μ m / 50mm | ||
1.5& mu; m / mm (当 X 轴在水平方向上 | |||
指示 | |||
( 20 ℃) | ± ( 3.5 + 2L / 100 ) μ m | ||
L 为驱动长度( mm ) | |||
倾斜范围 | ± 45& deg; ( CV-2000 ) | ||
Z1 轴 | 测量范围 | 25mm ( CV-100 )或 40mm ( CV-2000 ) | |
分辨率 | 0.4& mu; m ( CV-1000 系列) | ||
0.5& mu; m ( CV-2000 系列) | |||
测量方法 | 弧形编码器 | ||
指示 ( 20 ℃) | ± ( 3.5 +14H /25 )μ m) | ||
H 为水平位置上的测量高度( mm ) | |||
探针上下运作 | 弧形运动 | ||
探针方向 | 向下 | ||
测力 | 10-30mN | ||
跟踪角度 | 向上 | 77& deg; | |
向下 | 87& deg; | ||
探针针尖 | 半径 | 25μ m | |
材料 | 硬质合金针尖 | ||
基座尺寸( WxH ) | 750x600mm ( CV-2000 ) | ||
基座材料 | 花岗岩( CV-2000 ) | ||
重量 | 主机 | 5kg ( CV-10000N2 ), 115.8kg ( CV-2000M4 ), 124kg ( CV-2000S4 ) | |
控制装置 | 14kg | ||
遥控箱 | 0.9kg | ||
电源 | 100-240VAC± 10 % 50 / 60Hz | ||
能耗 | 150W 仅限主机 | ||
性能参数 | |||
型号 | CV-1000N2 | CV-2000N4 | CV-2000S4 |
X1 轴测量范围 | 50mm | 100mm | 100mm |
Z1 轴测量范围 | 25mm | 40mm | 40mm |
Z2 轴测量范围 | - | 250mm | 320mm |