主要技术指标：
　　1.测量范围：X＝800mm，Y＝1000mm，Z＝600mm
　　2.空间测量示值误差：E≤2.9＋L/250µm
　　3.探测误差：R≤2.9µm
　　4.分辨率：0.5µm
　　5.运动速度：400mm/s
　　6.承受重量：1000kg
　　7.仪器重量：1700kg
　　8.外型尺寸：2080mm×1600mm×2760mm
　　9.环境要求：
　　温度范围：20±2℃，0.5℃/h，<1＆＃61616；C/24h
　　气源压力：0.6MPa～0.8MPa，200L/min（0.4MPa）
　　湿度范围：30%-70%
　　电源：220V±10%，50Hz
　　功率：1KV
　　地面振动：振动频率≤10 Hz 振幅≤0.5μm
　　10 Hz<振动频率≤30 Hz 振幅≤1μm
　　振动频率≥30 Hz 振幅≤3μm