小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列
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　　一、小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列主要特性：
　　1）传感器灵敏度高，有极小的始动流量
　　2）传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高计量
　　3）在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高
　　4）传感器的零点稳定度高
　　5）全量程高稳定性
　　6）全量程高度和优良的重复性
　　7）低功耗
　　8）低压损
　　9）响应时间快
　　二、小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列典型应用：
　　适用于小流量气体质量的流量测量。
　　
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