该系统利用花岗石平板相互垂直的两个平面，作为高气浮区。真空吸附滑块在相互垂直的高气浮区做无摩擦的高直线运动。
　　本机直线度优于0.5微米／800毫米。当环境条件（温度、湿度、震动、气源）理想状态下，直线度会更高。
　　工作原理：通过平行移动仪器主机，与被测工件进行比较，记录可微调的测量表的指示值，将数据输入到计算机，计算出直线度。
　　测量结果，测量范围可根据用户需求制作，具有可转方向、可微调的测量表夹持杆，可加持杠杆千分表、数显表、电感测头等。

其他说明

指标：
序号	测量范围	导轨	工作平台	工作环境
1	1000mm	2μm	00级	恒温恒湿
2	2000mm	5μm	00级	恒温恒湿
3	3000mm	8μm	00级	恒温恒湿