SERIES（小体积型）
　　概要
　　LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
　　可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
　　产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
　　特点
　　模拟式热质式流量计/气体质量流量控制器：
　　低单价
　　环境温度补正
　　可应用的流率范围广：
　　0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
　　0～1，2，3，5，10，15，20，30SLM
　　高
　　±1%（≤15SLM）
　　±1.5%（＞15SLM.）
　　可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
　　国际兼容
　　应用
　　工业设施的气体供应监测/控制。
　　气体分析设备。
　　固定气体流量控制。
　　气体混合或分离设备
　　标准气体质量流量用氮气（N2）标定。