基础技术参数：
　　型号：FUNCTION564
　　行程：
　　X轴500mm
　　Y轴：600mm
　　Z轴：400mm  
　　结构型式：活动桥式
　　传动方式：直流伺服系统＋预载荷高空气轴承
　　长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.5μm
　　机台：高（00级）花岗岩平台
　　
　　使用环境：
　　温度：（20±2）℃，
　　湿度：55％-65％，
　　温度梯度：1℃／m，
　　温度变化：1℃／h
　　空气压力：0.4MPa-0.5Mpa

　　空气流量：120L／min–140L／min
　　整机尺寸（LWH）：1.2mX1.4mX2.3m
　　机台承重：500kg，
　　整机重量：850Kg
　　空间测量：（2.80＋L／300）μm。