APS　150G分析型探针台
　　
　　一、基本配置信息：
　　1.探针台本体：
　　*Analysis　6"Probe　Station（分析型6"探针台）（可选8"、12"）
　　*6"vacuum　chuck（6"真空卡盘））（可选8"、12"）
　　*Ball　screw　drived　chuck　stage（滚珠丝杆精密调节平台）
　　*Chuck　stage　travel　X，Y　150mm（卡盘平台X，Y行程150mm）
　　根据需求行程可选200mm（APS　200型）或其它
　　*Manual　chuck　theta　adjustment（手动卡盘旋转调整）：＋/-0.1度（旋转）
　　*Chuck　up-down　5mm（卡盘升降5mm行程）升降台调节：15度，；4mm，＋/-1um（垂直）
　　*Microscope　stage　travel　X，Y　25mm（显微镜载物台X，Y行程25毫米）。调节：＋/-1um
　　
　　2.探针座：DC　Probe　Head　探针座（可选其它探针座及RF高频探针座）
　　*Foot　dimension（底部尺寸）70　x　35mm
　　*Travel　range（X，Y轴行程范围）12mm
　　*Travel　range（Z轴行程范围）12mm
　　*Feature　Resolution（）1um
　　*Vacuum　base（磁吸附）
　　注：磁吸附系配置新设计开关磁吸装置；可选择真空吸附；
　　仰角装置，可对夹持的探针进行仰角角度的调节；
　　
　　3.显微镜：Microscope　System　for　High　Magnification
　　高倍率显微镜系统
　　*Magnification　up　to　500X（放大倍率500X）
　　注：可选更高倍率镜头，如：100X物镜，即总倍率1000X；
　　*Fiber　Light　Guide（光纤传导）：1.5m
　　*Light　Source（光源）：100W
　　*CCD　port（CCD接口）
　　*目镜：WF10X/24，视场直径　24mm，独立矫正色差
　　*物镜：10X，20X，50X
　　*双目头：瞳距调节范围55~75mm
　　*上主体：分光比为50：50或0：100
　　*管镜：1X　NUV/VIS
　　*齐焦距离：95mm
　　*调焦机构：调焦行程：52mm
　　*粗动手轮4mm/转
　　*微动手轮0.1mm/转
　　*微动手轮　1μm/格
　　*承载重量：45磅（20.4Kg）
　　
　　4.CCD：C-MOS　camera　1/2　300万像素
　　
　　二、规格：
　　
　　组件/型号  APS　150  APS　200
　　真空吸附卡盘  150mm　不锈钢  200mm　不锈钢
　　主体平台XY移动行程  149mm*150mm  199mm*200mm
　　旋转角度  0-30O  0-30O
　　Z轴行程  5mm  5mm
　　显微镜平台移动行程  25mm*25mm  25mm*25mm
　　探针台本体  固定式  固定式
　　样品尺寸  5*5至150mm  5*5至200mm
　　真空卡盘平坦度  10um  10um
　　尺寸  580*460*700（mm）  660*660*700（mm）
　　重量  60kg  80kg
　　
　　
　　三、可选项：
　　*各类光学显微镜
　　*真空吸附卡盘
　　*加热卡盘
　　*客户定制移动平台
　　*高频探针、电缆线
　　*低电流/电容量测
　　*高电压量测
　　*CCD　相机
　　*探针夹具
　　*探针
　　*真空泵
　　*屏蔽箱
　　*防振桌
　　*适配器
　　*转接头