微小流量气体混合仪
　　特点：微小流量气体混合，高控制多种气体混合比例，实现不同气体比要求，气路通道：1～8路（根据客户需求设计）。
　　详细介绍
　　◆工作压力达3MPa
　　◆密封更可靠
　　◆寿命更长
　　◆经济型和精密型
　　一般特点
　　◆通用接头，易安装
　　◆结构合理
　　◆使用范围广
　　◆气体混合同比例可按要求调节
　　◆使用气体种类多（可达60多种）
　　◆BA级洁净管道
　　特点性能
　　1.MFC工作压力3MPa.（详见产品说明书）
　　2.工作温度5-50℃。
　　3.国际主流通用管连接方式。
　　4.316不锈钢材质。
　　5.阀门与介质接触部分的零件材料为不锈钢、聚四氟乙烯。
　　6.安装方便。
　　结构材料
　　注：切勿将零件与其他制造厂生产的相混用或互换
　　气体混合仪系统参数
　　气体传输：2种气体，Swagelok卡套连接
　　气体类型：NH3，CH4等
　　进气压力：0.1-0.4MPA
　　控制阀动作型式：常闭式
　　响应时间（sec）：1S
　　工作压差：0.05～0.5MPA
　　耐压：3MPA
　　控制原理：质量流量控制，每个出口单独控制
　　流量：5SCCM，10SCCM，50SCCM
　　采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制，并且不会受到温度及压力变化的影响
　　其他流速可选择，其他气体可选择
　　准确性：优于2%
　　数据：输出的数据转换为标准状态下的质量（1个大气压，0度）
　　标准状态规定为：
　　标准温度………………0℃（273.15K）
　　标准压强………………101325Pa
　　
　　控制显示方式：本地显示控制