自动充气平衡精密光学隔振平台
价格:电议
地区:北京市
传 真:86-010-52818148
特点:
本系列平台是在HGPT-B型光学隔振平台的基础上增加自动平衡功能,采用空气伺服系统,自动调整水平,台面的高度由空气调节阀在桌面运动的激励下维持和控制,把系统对微振的响应反馈到系统中,改变隔振特性,当负载沿工作表面移动或发生突然变化时能够使台面自动维持水平。瞬间达到初始的平衡状态,提高光学隔振平台的隔振效果
主要参数:
平面不大于0.05mm/m2
表面粗糙度小于0.8um
固有频率垂直1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz
振幅不大于1.2um
重复定位±0.05mm