主要特征：

    三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，具有相同的温度特性及刚性
* 三轴导轨均采用高自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨永不受磨损
* 单边驱动活动桥式结构，显著提高运动性能，确保测量及稳定性
* Y轴采用整体燕尾式导轨，有效消除了运动扭摆，保证了测量及稳定性
* 欧洲开放式金属光栅尺，分辨率0.4 um
* 控制系统采用欧洲高速高自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制
* 三轴均采用大功率驱动器、电机及双级减速装置，确保传动迅速、准确

规格型号与技术指标: