气体流量传感器
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产品特点:
-传感器的零点稳定度高
-
全量程高稳定性
-全量程高度和优良的重复性
-低功耗
-低压损
-
响应时间快

-传感器灵敏度高,有极小的始动流量
-传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传
-感器的高计量
-在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高

产品简介:

 专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用微电子系统流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径,成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量传感器。





主要参数:

性能参数SML单位
1.01.8mm
流量30, 100, 200500, 1000SCCM
量程比≥100:1 
±(1.5+0.2FS)%
重复性0.25%读数
零点输出飘移±30mV
输出飘移±0.12%/oC
响应时间4, 8, 16, 33 , 65 , 131mses
工作电源8~18Vdc,50mA 
输出方式线性,RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc 
流量压损350300pa
工作压力0.5MPa
工作温度-10 ~ +55oC
存储温度-20 ~ +65oC
工作湿度<95%RH(无结冰、无凝露) 
机械接口可拆式软管接头 
校准方式空气(或其他气体),20℃,101.325kPa 
重量15g