机型

LSM-500H

LSM-501H

LSM-503H

LSM-506H

LSM-512H

型号

544-552

544-553

544-555

544-556

544-558

544-559

544-572

544-573

544-575

544-576

检验标准

FDA

IEC

FDA

IEC

FDA

IEC

FDA

IEC

FDA

IEC

测量范围

0．005-2mm

0．05-10mm

0．3-30mm

1-60mm

1-120mm

小读值

0．00001-0．01mm

0．00001-0．01mm

0．00002-0．1mm

0．00005-0．1mm

0．0001-0．1mm

重现性

±0.04um

±0.05um

±0.15um

±0.5um

±1.2um

直线性

±0.3um

±0.5um

±1.0um

±3m

±6um

位置误差

±0.4um

±0.5um

±1.5um

±4m

±8um

测量区域

1x2mm

当0.05-0.1mm时

为2X10mm；

当0.1-10mm时

为4X10mm

10X30mm

20x60mm

30X120mm

扫描频率

1600回/秒

1600回/秒

1600回/秒

1600回/秒

1600回/秒

扫描速度

38m/s

57m/s

113m/s

226m/s

452m/s

环境温度

0-40℃

环境湿度

35-85%