技术参数
X 轴
测量范围: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 80mm/s 和手动
测量速度: 0.02 - 5mm/s
移动方向: 向前／向后
直线度: 0.8μm/100mm, 2μm/200mm
* 当X 轴在水平方向上
指示: ±(1+0.01L)μm (CV-3100S4, H4, W4)
(20° C 时) ±(0.8+0.01L)μm (CV-4100S4, H4, W4)
±(1+0.02L)μm (CV-3100S8, H8, W8)
±(0.8+0.02L)μm (CV-4100S8, H8, W8)
* L 为驱动长度(mm)
倾斜范围: ±45°
Z2 轴(立柱)
垂直行程: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
检测方法: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 - 20mm/s 和手动
Z1 轴 (检测器)
测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2μm (CV-3100), 0.05μm (CV-4100)
检测方法: 线性编码器(CV-3100),
激光全息测微计 (CV-4100)
指示: ±(2+I4HI/100)μm (CV-3100)
(20° C 时) ±(0.8+I2HI/100)μm (CV-4100)
*H 为水平位置上的测量高度 (mm)
测针上／下运作: 弧形运动
测针方向: 向上／向下
测力: 30mN
跟踪角度: 向上：77°、向下： 87°
(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)
测针针尖 半径: 25μm、硬质合金针尖
基座尺寸(W x H):750 x 600mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花岗岩
重量
主机: 140kg (S4), 150kg (H4), 155kg (W4)
145kg (S8), 155kg (H8), 160kg (W8)
　控制装置:14kg
　遥控箱: 0.9kg
电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (仅限主机)
三丰公司具有创新意义的
高激光全息光栅技
术，运用了衍射光干涉现
象，达到了近似干涉仪级
别的高，有效保证了
全部测量范围50 mm 内高
达0.05μm 的分辨率。
检测原理图
批量校准功能
• 使用专用校准规，可同时进行设备的Z 轴
增益，对称及针尖半径的校准。