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携帯用静電モニター　KSD-0200 KASUGA
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携帯用静電モニター　KSD-0200  KASUGA

 

本器は、除電工程での除電器性能とその除電器から発生するイオンのバランス（除電バランス）を検知します。

除電器は、定期的に除電電極性能をチェックし、電極針の汚れなどによる除電性能の低下や除電バランスを検知することで、効率的で確実な除電を行なうことができます。特に半導体で使用される除電器の場合は、バランスのとれていない状態では逆帯電となり、デバイスを逆に帯電し、破壊することになります。

■特長
帯電用直流電源が内臓され、帯電板にその場で帯電させ、除電器の性能がチェックできます。
小型、軽量で、狭い場所での除電性能をチェックするのに適です。
除電器の除電バランスをチェックし、除電性能を数値で管理できます。

●仕様

 

携帯用校正電源本体内蔵（約±1000V）可変過電流保護付（0.5μA以下）
帯電板アルミ板（75mm×25mm×2mm）静電容量8pF（±2pF）
アナログ出力0～±100mV
電源単四アルカリ乾電池　1.5V×2本（連続使用3H）
アース線カールコード
環境0～40℃　65％RH以下
寸法質量130mm×70mm×25mm 170g（電池入り）
オプション記録計接続ケーブル

 

●各部の名称