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韩国气体质量流量计
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       1.量程宽，10sccm-1000slpm量身定制。       2.可以对150余种气体进行控制，并且广泛适用于腐蚀性气体。       3.选择性强，可选择供电电源15 or 24v，输入输出信号0-5V or 4-20mA 。       4.抗压90bar 。       5.全部由韩国生产。       6.交货时间短1-2星期。LINE TECH气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业
 
ModelM2500VM2500A
  Range(N2)  300slpm ~ 1000slpm  300slpm ~ 1000slpm
  Response Time  <2 sec  <2 sec
  Accuracy  ±1% FS  ±1% FS
  Repeatability  ±0.25% FS  ±0.25% FS
  In/Out Signal  0~5 Vdc  0~5 Vdc OR 4~20 mA
  Supply Power  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
  Max. Operating Pressure  <15 bar  <15 bar
  Max. Operating Temp  0~50 °C  0~50 °C
  Leak Rate  1*10E-9 atm cc/sec  1*10E-9 atm cc/sec
  Control Range  2 ~ 100% for max range  2 ~ 100% for max range