Brooks提供面向各种应用需求和真空测量范围的真空测量方案。Granville-Phillips规管、电子气件、模块化真空产品，和量身定制的解决方案呈现出适应性广，可靠性优越和特性，从而满足各种市场需求，这些应用包括半导体及相关工艺、分析仪器和科研院校的研究和工业制造。

      Granville-Phillips产品线覆盖从10^-10Torr到大气压的全部真空测量范围。我们的产品设计适用于本地和远程控制的要求，或者是柜式安装形式的控制器或者本地模块化的测量方案。同时，Granville-Phillips还可以从简单的模拟量信号到各种数字通讯协议的多种输出形式特性选择。增加本地 显示和远程控制I/O功能可以显著减少系统集成成本。

      如果性、稳定性和可靠性是您的真空制程系统至关重要和产能保证，那么Granville-Phillips就是您的真空计系统的选择。

      835真空质量监控系统。Granville-Phillip®的真空质量监控仪（Vacuum Quality Monitor, VQM^TM）结合了高性能的气体分析技术和智能仪表的设计理念，使得复杂的测量变成了可识别的信息。835VQM系统是目前世界上速度快，耗能的气体成分分析仪，它在85毫秒内完成1到145质量数的气体分子的数据收集、质谱分析和数据记录等全部工作，或是120毫秒内监控1-300质量数的成分。可选择部分扫描功能从而获得更快的扫描速度。

优势特点：

• 优越的Stabile-Ion规管性能集中于紧凑的模块中
• 从10-11 Torr （10-11 mbar，10-9 Pa）开始的精准的真空压力测量
• 双灯丝规管结构增加了设备的正常运行时间
• 模拟量或DeviceNet接口
• 模块化设计允许快速简单地进行规管更换
• DeviceNet型获CE

GUTS ®支持体系

所有Granville Phillips产品均有GUTS（保证不受版权保护或相似自由的支持）的快速响应网络提供强大支持以及我们全面的客户支持计划的支持。当您致电GUTS服务中心时，我们从技术支持人员中精心挑选出来的真空将立即为您提供令人满意的解答和操作。我们每天365天、每天24小时全天候为您竭诚服务。如果在美国，请拨打1-800-FOR-GUTS（800-367-4887）。