Brooks提供面向各种应用需求和真空测量范围的真空测量方案。Granville-Phillips规管、电子气件、模块化真空产品，和量身定制的解决方案呈现出适应性广，可靠性优越和特性，从而满足各种市场需求，这些应用包括半导体及相关工艺、分析仪器和科研院校的研究和工业制造。

      Granville-Phillips产品线覆盖从10^-10Torr到大气压的全部真空测量范围。我们的产品设计适用于本地和远程控制的要求，或者是柜式安装形式的控制器或者本地模块化的测量方案。同时，Granville-Phillips还可以从简单的模拟量信号到各种数字通讯协议的多种输出形式特性选择。增加本地 显示和远程控制I/O功能可以显著减少系统集成成本。如果性、稳定性和可靠性是您的真空制程系统至关重要和产能保证，那么Granville-Phillips就是您的真空计系统的选择。

       835 VQM TM（真空质量监控仪）分压泵系统。Granville-Phillips的分压系统是获奖的高性能真空质量监控仪（VQMTM ）的真空压力范围扩展产品。其具有所有VQM的优势特点，包括响应速度快和使用便捷，可用于工艺检测和工艺控制。

优势特点：

• 工作压力从3Torr到5x10-9 Torr
• 在85毫秒内完成质量数从1到145的气体分析压力测量；并可提供1到300质量数范围的测量
• 可提供所识别的前十个比例的气体成分的即时信息包括趋势图
• 的氢气和氦气检测（无低质量数成分测量分压超全压现象）
• 85毫秒内完成1-145质量数全部样本数据的记录；120毫秒内完成1-300质量数全部样本数据的记录
• 可利用真空系统内已有的气体进行单一气体校准
• 紧凑型结构设计，可灵活安装

GUTS ®支持体系

所有Granville Phillips产品均有GUTS（保证不受版权保护或相似自由的支持）的快速响应网络提供强大支持以及我们全面的客户支持计划的支持。当您致电GUTS服务中心时，我们从技术支持人员中精心挑选出来的真空将立即为您提供令人满意的解答和操作。我们每天365天、每天24小时全天候为您竭诚服务。如果在美国，请拨打1-800-FOR-GUTS（800-367-4887）。