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日本三丰518 系列高度仪Linear Height,高性能2D 测量系统,分辨率/重复为0.1/0.5μm 时,可高达(1.3+0.6L/600)μm。确保垂直度(前部) 达6μm,直线度达4μm。全/半空气浮动系统可调节气垫。带有基本统计功能, 另外,通过RS-232C数据输出与带有SPC 软件的电脑相连,可实现外部测量数据评估。半自动测量时具有单键操作功能。高度仪Linear Height的详细介绍