主要特征： 

?   零部件及软件全部原装进口
       三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，具有相同的温度特性及刚性
       开放式金属光栅尺，更接近花岗岩基体的热膨胀系数，提高了设备的稳定性
?    X、Y导轨采用矩形导轨立装，保证的抗弯强度
?    X、Y、Z导轨采用四面气浮块环布形式，保证运动直线度
?    配合三轴气动锁紧，三轴均设有微进给结构，将手动的方便快捷与自动的保证相结合
?    显示器与机台一体化的设计，符合人机工程学原理，保证操作的便捷性
?    测量软件操作简便，运行可靠

规格型号与技术指标:

注：工作环境为 温度(20±2)℃，湿度55%-65%