l 有效测量行程(X,Y) ：300 mm×200 mm

l Z轴调焦升降测量范围：≤200mm

l 分辨率：0.001mm

l X、Y轴坐标示值误差：U≤(3+L/200)μm 

l 金属台面尺寸：640mm*410mm

l 玻璃台尺寸：229mm×329mm

l 承载重量：25 kg

l 影像系统： 日本 SONY CCD 彩色分辨率工业摄像机 CCD，

l 物镜：美国 NAVITAR 全自动变倍镜头可连续变倍  光学放大倍率 0.7×-4.5× 

l 视频总倍率：20X～150X

l 物方视场：10.6-1.6mm，工作距离 90mm

l 光栅尺：高精密光栅尺,分辨率 0.0005mm

l 照明系统：程控可调 LED 表面光和底光（配置同轴光）

l 传动方式：X、Y、Z 轴均采用马达驱动滚珠丝杆传动的型式

l 操作方式： 四轴日本伺服电机 三轴运动速度可达： 1500mm/min 三轴定位： 0.001mm  

l 主机外形尺约：850 mm×640mm×980 mm

l 机台底座：高花岗岩 00 级

l 仪器总重：约 250kg

l 测量测软件：全自动测量软件 智能测 量 仪 测 量 软 件

l 数据输出：测量数据 Word(doc)、Excel(xls)

l 物件放大摄像图形(bmp、jpg)、二维图形 AutoCAD(dxf)

l 简单 SPC 分析，数据 Word(doc 格式)、Excel(xls 格式)

l 电源：AC 220±5V、50Hz

l 使用环境：温度 20±3 ℃，湿度 35%-65%