分辨率 高真空(二次电子) 低真空(背散射电子) | 3nm(30kV),8nm(3kV) / 选配 六硼化镧2nm(30kV),5nm(3kV) / | 工作真空 高真空 低真空 | <9×10-3Pa / | 电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 | 放大倍率 | 2x-1,000,000x连续可调 | 加速电压 | 200V至30KV | 电子枪 | 钨灯丝/六硼化镧 | 探针电流 | 1pA至2μA | 扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 | 聚焦窗口 | 大小和位置连续可调 | 扫描特性 | 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 | 图象尺寸 | 可达8192×8192象素,图象比例可选1:1、4:3或2:1 | 显微镜控制 | 通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 | 自动程序 | 实时电子束追踪优化,束斑直径优化放大倍数,聚焦&消象散,对比度&亮度,扫描速度(根据信噪比),灯丝饱和调整,电子枪对中,光阑&透镜对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度等级调整 | 远程控制 | 通过TCP/IP |
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