先进的全铝技术，横梁与Z轴采用表面硬质阳极化航空铝合金，温度一致性；并降低了运动部件的品质和测量机在高速运行时的惯性，保证高速高；

三轴导轨均采用高自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨永不受磨损；

三轴均采用高欧洲进口光学尺，系统解析度可达0.078um；同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光学尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩；

X轴采用精密60° 三角梁技术，相比矩形横梁，重心更低，品质刚性比，运动更加可靠；

Y轴采用整体燕尾式导轨，在降低机器重量的同时，有效消除了运动扭摆，保证了测量和稳定性；

Z向采取获得的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的和长期稳定性；

各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保运动的平稳和准确定位。