VSB-H10-66销售CKD过滤减压阀
接气部位）精密净化，从组装到包装都是在净化室中进行的一贯。
另外，接气部位不使用润滑脂。
??造型紧凑·流量大
??两面之间只有50mm的紧凑型规格，但是实现了0.8m3/min的大流量。??
??为1次压0.7MPa??设定压力0.5MPa??压力降0.1MPa时的流量??
??带换向机构（不施加背压时）
??1次侧压力被排出后，2次侧压力具有转向1次侧的换向机能。
??2次侧压力不残留，是注重安全性的产品。
请勿使压力表或管塞堵住连接压力表的气口。
3 并列使用如下所示的减压阀时，请勿使OUT侧封闭
回路。若需闭回路时，请务必在各个减压阀的OUT
侧放入单向阀后再使用。
在拧入配管或接头时，请勿混入异物。
RC2000系列为禁油规格、不锈钢阀体，
被应用于半导体制造装置及液晶制造装
置中，是净化空气、N2的压力控制的
佳产品。另外，因造型紧凑流量大，适
用于空气（N2）的喷流。
　在拧入配管或接头时，请注意勿使配管螺纹的切屑及密封材料
混入。配管内残留垃圾或异物会导致产品的机能下降。
4 请确认产品按箭头方向排放，并正确连接。
注1??标准使用: 在设定压力为0.4MPa以下使用时，
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