ワイド電位センサKS-2100
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 ワイド電位センサ(KS-2100)

特長

  • アンプ部(駆動回路部)を検出部に内蔵したことにより安価でコンパクトになっております。
  • 従来高価であった静電気監視システムを安価に構築できます。
  • スイッチにより測定レンジを変更でき、低電位から高電位までワイドレンジの測定が可能です。
  • 検出センサの故障表示LEDを装備し、外部に出力できます。

用途

  • フラットパネルディスプレイ生産工程での帯電量監視。
  • 半導体ウェハ帯電量監視。
  • LSIのハンドリング中やプリント基板搬送中の帯電量監視。

仕様

型式検出方式測定範囲 アナログ出力測定測定基準距離 警報電源環境質量付属品
KS-2100
振動型表面電位センサ
レンジ(1) ±1~±2000V
レンジ(2) ±0.01~±20.00kV
0~±5V
±10%以内
レンジ(1) 10mm
レンジ(2) 50mm
検出センサ故障LED表示、外部出力
DC12~24V±5%
温度0~40℃、湿度65%RH以下(結露なきこと)
約100g(ケーブル含まず)
専用ケーブル5m(100m迄可能)

 

寸法?各部の名称 (寸法単位[mm])

 

 

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