仪器用途：主要用于半导体硅晶片检测、LCD液晶屏检测、实验室材料分析及其他精密工程检测领域，可对样品进行明场、暗场、偏光以及微分干涉观察。光源可选卤素灯、光纤照明，可以配电动物镜转盘、成像系统，可以对应多种需求的系统显微镜。 仪器型号 YVM-200150CNC 量测行程 X.Y.Z 2000*1500*800mm（X.Y.Z） 光学测量系统 CCD：2/3"(Gige LE)分辨率1280*1024*130万像素 显微镜镜头：奥林巴斯MX-61 物镜：5X、10X、20X、50X、100X 显示分辨率：0.0001mm 源兴光学专用测量软件 示值误差 X、Y≤(4+L/200)um ,Z≤0.01mm 程控光源系统 下光源：条形光源，亮度可进行调节表面光：卤素灯和同轴光，亮度可进行调节。荧光照明。 裸机尺寸 2500*2500*2500mm 仪器净重 5500KG 工作台负载 80KG 仪器电源 220V(AC) 50HZ 125W 结构形式 龙门桥式移动 操作方式 摇杆/鼠标 电源 220/110V