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MX61
奥林巴斯MX61/MX61L的特点
半导体/FPD检查显微镜;为用户提供高效率。
MX61适用于200mm的样本,而MX61L则可适用于300mm的样本。
1、大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆全面检查(MX61L)。
2、采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利。
3、多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求。
4、透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果。
5、本信息来自上海富莱光学科技有限公司龙先生。
奥林巴斯MX61/MX61L显微镜的配置
型号 | OLYMPUSMX61L型显微镜 | ||
光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正光学系统) | ||
显微镜镜体 | 射光照明(F.N. 26.5) | 12V100W卤素灯泡(预定心型) 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组(选配) ,转换使用内置电动孔径光阑(每个物镜可预设,物镜转换时自动转换,暗视场观测时自动打开) | |
观测方法 | |||
①反射光明视场法;②反射光暗视场法;③反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法;④反射光简单偏振法;⑤反射光荧光法;⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明视场法;⑧透射光简单偏振法③/④/⑤需要专门的分光镜组。⑦/⑧需要与透射光照明部件配合使用。 | |||
观察镜筒 | 超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型 其它:超宽场三目镜筒/宽场双目镜筒 | 超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的标准配置) 龙先生 | |
换镜转盘 | 电动五孔明/暗视野法用转盘,配备滑槽用于微分干涉衬比法观测:U-D5BDREMC型 | ||
载物台 | MSS-300A:12寸*12寸,行程:356×305mm 原装日本中央精机2轴电动平台,可以进行XY轴同时联动。 带12寸晶圆载物台板。 | ||
内置反射光源:100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz | |||
能耗 | |||
体积/重量 | 体积:约710(宽)×843(长)×507(高)mm 重量:约51kg(载物台约重31kg) |