机器型号

VMS-A2015

VMS-A2515

VMS-A3020

VMS-A3525

工作台尺寸（mm）

390X292

440X292

 490X242

540X392

运动行程 （mm）

200X150

 250X150

300X200

350X250

Z轴升降行程（mm）

                       150(调焦及辅助测量)

数显分辨率（μm）

                          0.5

X、Y示值误差

        （3+L/150）（μm）（L长度被测量长度, 单位 mm）