KOSAKA LAB EF 650D（轮廓形状测定机）

特点：

*具有数字式圆弧补正机能，以减少圆弧运动之误差。

* 45°倾斜机构：可根据工件形状，于45°内任意自由变化。

*新开发测定力调整：依据转盘式、测定力调整机构，可于Stylus种类及姿势不变情况下，简单地设置测定力。

*高Real time测定。

*测定方向选择：测定方向可上/下、右/左、自动切换，可避免测试物摆设之困扰。

* Stylus升降机构（电动）。

*多功能之形状解析装置。

主要技术参数：

1.测定：Z：( 1 +｜0.04h um )   X：( 1 + 0.02L ) um L=测定长度mm

2.测定范围：纵（Z）58 mm、横（X）100mm

3.X、Z轴Scale分解能：Z:0.1um、X：0.1μm

            点数：125,000点，间隔0.5um以上

4.测定倍率（X . Z）：0.01~10000倍

5.驱动速度：0.02、0.05、0.1、0.5、1、2 mm / s（回程速度：驱动速度0.02 ~ 10 mm / s）　

6.真直度：1μm / 100 mm

7.圆孤补正方式：数字式圆孤补正

8.检出器PU-FJ25

         8-1. Stylus：R25μm超硬SB-610

         8-2.测定力：10 ~ 30 mN,可变

         8-3.追随角度：爬升77°、下滑87°

         8-4.补助机能：跳动机能、过负荷停止、Stylus电动上下、测定范围限制

9.测定方向：上、下两方向（PU-FJ25），或推/拉两方向。

10.驱动装置倾斜角度：±45°

11.检出器上、下动范围：200 mm自动停止含电动上下

12.形状解析机能：标准配件

13.电源：AC 100V 50 / 60 HZ   550 VA

14.设置尺寸：640*685*315mm测定装置部约70kg，解析部约10kg