LS2晶圆片打标系统
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LS2晶圆片打标系统

具有两个自动盒式晶圆传送装置,适应全自动生产,LS2300-A可兼容300mm晶圆。能处理4,6,8及12英寸晶圆。额外的半自动工具LS2-SM,可用于小批量生产,打样或开发。

LS2系统用于CSP背面表面打标及晶圆级封装硅晶片。

LS2可打标产品商标,单元码,用于产品识别和追踪。

PacTech释放集成激光包含红外(1064波长)和绿光(532波长)。 LS2独特之处是集成QualMark进行质量控制。

它可以作为在线程序控制器,控制晶圆片打标质量,并能快速响应生产,无需额外的后期光学检测处理。



产品规格

激光:
        
类型:2D扫描头
自动校准300字符/秒(标准)YAG二极管泵浦激光器功率:8.0 W波长:红外或绿光*
系统处理:

晶圆片尺寸:可达300mm
加工过程中质量控制Flat/Notch compatibility SEMI洁净室:可兼容Class 10K全自动机器人处理系统检查系统:QualMark集成预校准器*
软件:

PacTech打标软件 
集成条码阅读器*SECS GEM接口
安全性及国际标准:

符合CE标准
Semi S2-020, Semi S4-1000*CDRH,TUV,UL*