晶圆级前部，背部及l边缘表面涂层

抗蚀剂或助焊剂涂覆兼容12”晶圆片

产品规格

晶圆厚度：0.1至1mm
全自动处理系统
晶圆尺寸：6-8或12英寸 
无需工具成本
批量生产&打样
不锈钢机身
自由编程预热及终加热时间
0-200度随意调节
预对准器用于晶圆处理
边缘涂层
自动处理晶圆，每小时多达50个
SEMI符合HMI
排气系统排出废气
占地面积小
工艺记录


                                       SpinPac ASC 200

   
                SEM符合HMI                            SpinPac ASC 200