主要技术参数：

1.测定：Z：( 1 +｜0.04h  um )  X：(1 + 0.02L ) um  L=测定长度mm

2.测定范围：纵（ Z ）58 mm、横（ X ）100mm

3.X、Z 轴 Scale 分解能：Z:0.1um、X：0.1μm

             点数：125,000点，间隔0.5um以上

4.测定倍率（X . Z）：0.01~10000 倍

5.驱动速度：0.02、0.05、0.1、0.5、1、2mm / s（回程速度：驱动速度0.02 ~ 10 mm / s）　

6.真直度：1μm / 100 mm

7.圆孤补正方式：数字式圆孤补正

8.检出器 PU-FJ25

         8-1. Stylus：R25μm 超硬SB-610

         8-2.测定力：10~ 30  mN,可变

         8-3.追随角度：爬升77° 、下滑 87°

         8-4.补助机能：跳动机能、过负荷停止、Stylus电动上下、测定范围限制

9.测定方向：上、下两方向（PU-FJ25），或推 / 拉两方向。

10.驱动装置倾斜角度：± 45°

11.检出器上、下动范围：200 mm 自动停止含电动上下

12.形状解析机能：标准配件

13.电源：AC 100V  50/ 60 HZ    550 VA

14.设置尺寸：640*685*315mm 测定装置部约70kg，解析部约10kg