Semilab SDI 硅片少数载流子扩散长度及CV电性检测设备 SPV 金属含量 硅太阳能 集成
价格:电议
地区:上海市
电 话:021-58200880-886
手 机:18616823896
仪器简介:

应用: 
◆硅料 
◆太阳能 
◆集成电路制造等



技术参数:

Semilab SDI设备主要用于硅片体内的少数载流子寿命(扩散长)的监测及定量定性检测影响少数载流子的寿命(扩散长)的金属污染(铁、铜等)含量。设备由光路系统、信号分析及处理系统、数据处理系统及自校准系统(设备内建有标准片)组成。



主要特点:

◆SPV(表面光电压)- 硅片表面不需要做钝化处理即可以做少数载流子寿命测试; 
◆Surface Lifetime- 硅片浅层的少数载流子寿命检测; 
◆Surface Recombination – 硅片的表面复合测试; 
◆SPV(表面光电压)- 可测试硅片体内的Fe及B02的含量; 
◆设备的Multiple wafersize 功能可以兼容测试100mm-300mm的硅片及硅棒。

品牌/商标

Semilab

企业类型

制造商

新旧程度

全新