采用AC私服电动机
无刷式，不会造成无尘室污染
减少电动机发热，也减少因连续使用时的温度上升造成封膜厚再现性的影响
电力消耗低，节能环保
扩展程式功能
多有100中程式，可记忆十种模式，更容易使用
所有机型都标配数字真空计
方形基板等可设定停止时间，超级方便
阿全机械装置
由于薄膜或晶圆容易破裂，降低吸附压力，可以变更安全装置。

单片 各中尺寸，定制型设备，便宜，性能好。
产地日本，非常适合研发使用