- 产品品牌:
- Phenom
- 产品型号:
- ProX
- 类型:
- 电子显微镜
放大倍数:20×-45,000×分辨率:优于25nm
电子枪:1500小时CeB6灯丝
抽真空时间:10秒
加速电压:5 / 10 /15 kV 三档
能谱仪EDS元素分析功能
拓展功能:3D粗糙度重建、纤维统计测量,高倍拼图
电镜能谱一体化设计,简洁小巧 |
Phenom ProX 的能谱仪EDS是针对台式电镜设计的,本着台式电镜简单易用,售后无忧的宗旨,Phenom ProX的能谱仪EDS
系统完全嵌入在电镜主机中,利用半导体制冷,无需额外冷却系统。下图是传统电镜能谱仪系统与Phenom ProX的对比图 |
Phenom-World电镜能谱一体化Phenom
ProX |
Phenom-World电镜能谱一体化Phenom ProX |
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快速得到样品表面形貌和元素含量 |
步:利用成像模式得到高分辨率的照片,背散射电子给出丰富的成份像,杂质一目了然
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第二步:如果需要分析元素含量,瞬间切换到成份分析模式,点击感兴趣的区域,立刻给出定量定性分析元素名称和含量分布 |
5kV,10kV,15kV
三档加速电压 |
Phenom ProX提供三档加速电压,用户可根据样品类型和测试目的,灵活切换 |
5kV :血液 绝缘体直接观测模式 适合对电子束敏感的样品 |
10kV:电路板 分辨率模式 适合绝大部分样品 |
15kV:电路板 元素分析模式 X射线特征谱线更明显 |
表面形貌和成分信息同时展现 |
背散射电子的产率、出射角度与样品成份及表面形貌相关。Phenom(飞纳)采用4分割半导体背散射电子探测器,为您提供两种成像模式,模式之间可迅速切换: |
• 成份模式:同时给出样品表面形貌与成份信息,不同元素可由其灰度对比度的不同加以分辨 |
• 形貌模式:去除成份信息,样品表面凹凸起伏等微观结构更加明晰,适用于表面粗糙度和缺陷分析 |
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成份模式 4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相叠加 |
形貌模式 4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相抵消 |
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成份模式图像包含样品成份与形貌信息 |
形貌模式图像仅突出样品表面形貌特征 |
样品杯,30秒快速成像 |
Phenom(飞纳)样品杯、低真空设计、的真空封锁技术,装入样品后30秒内即可得到高质量图像,耗时仅为传统电镜的1/10左右。 |
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直接观看绝缘体,无需喷金 |
Phenom(飞纳)采用低真空技术,出射电子与空气分子碰撞产生正离子,正离子与样品表面累积的电子中和,有效抑制荷电效应的产生,直接观测各种不导电样品(如下图所示)。 利用降低荷电效应样品杯,更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右,而且不会影响灯丝寿命,下图头发示例: |
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操作简便,全程导航 |
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• 自动/手动聚焦 |
Phenom(飞纳)操作界面。通过点击右侧图标可以轻松完成图像缩放、聚焦、亮度对比度调节、旋转等操作。界面右侧显示光学导航和低倍SEM导航窗口,方便用户在不同样品、不同区域间进行切换。 |
• 自动/手动亮度 |
• 自动/手动对比度 |
• 自动灯丝居中调节 |
• 自动马达样品台 |
• 光学/电子样品导航 |
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光学导航,所有待观测样品尽在视野之中,高倍下准确切换样品,只需点击感兴趣样品,即可自动移动到屏幕中央 |
低倍SEM照片导航,导航窗口中的彩色矩形框指示了住观测窗口的观测区域,点击感兴趣的区域,自动移动到样品中央。 |
长寿命/高亮度/低色差 CeB6
灯丝 |
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Phenom(飞纳)采用逸出功为2.5eV的CeB6灯丝,其亮度为钨灯丝的10倍,出射电子色差小,为您提供更高质量的图像,其使用寿命长达1500小时,为钨灯丝的10倍,可正常使用1-3年无需更换灯丝,免去了您频繁更换灯丝的麻烦,保证工作进度。 |
环境适应性高,完全防震 |
Phenom(飞纳)可以放置在几乎所有的室内环境当中,无需超净间。采用灯丝、探测器、样品台相对一体化的设计,震动不会引起三者间的相对运动,使Phenom成像不受震动影响,可放置在较高楼层。 |
互联网远程检测 |
Phenom(飞纳)拥有远程检测功能,通过网络,工程师可随时为您远程检测系统、答疑解难,为您提供全方位的保护,让您的Phenom随时处于工作状态。 |
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