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图文详情
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产品属性
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- 产品品牌:
- 雷尼绍Renishaw
- 产品型号:
- RG2
renishaw雷尼绍光栅系统
有更多的技术及应用需求请联系公司销售工程师:王晋贤,电话 雷尼绍提供品种齐全的、小巧的光栅测量系统以满足多种工业领域应用的需求。本产品样本精选了多种高速直线光栅、“安装简便”的平面光栅、圆光栅和系列细分卡加以介绍。雷尼绍光栅系统的成功开发是基于其创新的非接触式光学结构。
这种设计在实现测量、高分辨率和零机械磁滞的同时,有很强的抗污能力,如灰尘、轻度油渍和划
痕而不影响信号的完整性。这些都确保了用户的机器运行可靠而不需过多的维护。不仅如此,雷尼绍的光栅系统
还以其易于安装响誉业界。镀金的光栅尺可被灵活地剪至适宜的长度以适应不同的轴长(可达70m),其背面自粘的特别设计使
得安装时无需钻孔和螺钉压紧,从而节省了时间和成本。
所有读数头和接口都有获得的LED 安装状态指示灯监控,而无需示波器及其它复杂的安装监控装置,这样也节省了时间和成本。
雷尼绍光栅测量系统广泛应用于大多数工业领域,包括计量、运动系统、电子、半导体设备、医疗、扫描/ 印刷、科学仪器、空间测量、
影像和专用机器。“无论何时何地,只要有精密运动控制,就需要精密光栅测量系统。” - - 雷尼绍就能满足这一需
求。
RG2 20 μ m 直线光栅
l 20 μ m栅距
l 分辨率达10nm
l 光栅尺可按需剪切至任意长度
RESR 圆光栅
l 360°精密角度测量
l 角度分辨率达0.01″
l 系列可选直径
RG4 40 μ m直线光栅
l 40 μ m 栅距
l 分辨率达0.1 μm
l 长度可灵活剪切的钢带光栅和玻璃光栅
RGX 平面光栅
l 易于安装的40μm栅距的网格平面
l 分辨率达0.1 μ m
l 抗污迹的光学滤波系统
附件
l 细分卡/接口
l 光栅尺安装器
l 安装用附件和用户订制的光栅测量解决方案
RG2 系列产品种类
RGH22
l 小巧坚固的外壳
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 内置细分卡和安装LED 指示灯
l 分辨率从5μm,1μm,0.5μm,0.1μm 到50nm
l 参考零位和双限位开关传感器
l 高柔性双屏蔽12 芯电缆或带状电缆可选
l 三态低电平报警信号或全报警输出
l 16.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W)
l 也可提供5μm,1μm,0.5μm (RGH26)的与Mitsubishi
Melservo?-J2-Super 兼容的产品
RGH24
l 超小型坚固外壳
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 内置细分卡和安装LED 指示灯
l 分辨率从5μm,1μm,0.5μm,0.2μm,0.1μm 到50nm 不等
l 参考零位或单限位开关传感器
l 高柔性双屏蔽8 芯电缆
l 三态低电平报警信号输出
l 14.8mm×36.0mm×13.5mm (H×L×W)
l 可提供JST 连接器型产品
RGH25
l 超小型坚固外壳
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 外置细分卡配有安装LED 指示灯
l 分辨率从5μm,1μm,0.5μm,0 . 1μm ,50nm,20nm
到10nm
l 参考零位或单限位开关传感器
l 高柔性双屏蔽8 芯电缆
l 三态低电平报警信号或全报警输出
l 10.5mm×36.0mm×13.5mm (H×L×W)
RGH25UHV
l 超高真空兼容读数头
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 外置细分卡配有安装LED 指示灯
l 分辨率从5μm,1μm ,0 . 5μm,0 . 1μm,50nm,20nm 到
10nm 不等
l 参考零位或单限位开关传感器
l FPC 连接器或网状电缆
l 三态低电平报警信号或全报警输出
l 低耗电量
l 12.3mm×36.0mm×13.5mm (H×L×W)(FPC 型)
l 10.5mm×36.0mm×13.5mm (H×L×W)(电缆型)
机器和运动系统的有效运动控制需要高性能的圆光栅或直线光栅。如果某种机器运动要求高水准的定位
,同时还要可靠,的解决方案就是使用非接触直线光栅。雷尼绍的RG2 具有可靠耐用的光栅尺、
优异的的测量性能并且可根据用户需要剪至任意长度。而且它不象大多数传统的光栅尺,需要特别维护与清
洁。在大多数开放式光栅被视为并不适宜的情况,雷尼绍的光学滤波系统也能保证信号的幅度、纯净
和。追求更高的使得直接反馈直线位置的光栅成为人们更喜爱选用的产品。直线电机速度快、定位
高、操作简单,因而被广泛使用,从而使圆光栅正从许多需要直线反馈的应用场合中淡出。RG2 读数头采用的创新技
术集成了其灵活、用户友好的特点,同时具有优异的测量性能。的坐标测量机的制造厂商都信任RG2。
在他们的很多机器上都能看到令人熟悉的金黄色条状光栅尺。
为何使用RG2 光栅?
l 高速、可靠的非接触式特性适
用于现今工厂自动化生产对高速度
的要求
l 零磨擦和零机械磨损
l 开放式光学系统可抵御大多数
自动化生产环境中的污染
l 成卷供货的光栅尺可被方便地
“剪至所需”(轴长长可达
70m ),不需储备不同长度的光栅
尺
l 获得的光栅尺安装器,有助
于实现快速简便的安装
l 内置式安装指示灯:绿灯亮时表
示安装正确;无需示波器或专门的
安装装置
l 双限位开关具有的指示轴
向运动停止点的功能
l 结构紧凑的读数头具有集成的内置
细分电路,有系列模拟和数字信
号输出,分辨率从5 μ m 到10nm
l 的光栅尺与基体的热匹配
直线
RG2 应用
在当今越来越多的自动化系统中,人们更多地喜爱选用直线光栅。为获得高产出、高速度、高、高重复性和稳定性,机器的设计者
们需要的运动控制部件。在半导体制造、电子装配、专用机器、激光切割、光学检测、印刷线路板测头检测、印刷、扫描和科学
仪器中应用RG2,这些只是其采用雷尼绍光栅提高机器性能的几个例子。直线电机直线电机是现代化的运动系统
的重要组成部分。无论是用于电子装配、检测机器、扫描或印刷机器,它们都可简化机器的结构,同时提
高速度、控制水平和可靠性。RG2 直线光栅是使直线电机实现高速和定位的位置反馈解决方案。
印刷线路板检测随着印刷线路板的复杂程度、线路密度和价值的不断升高,其整个装配过程都需有快速、可靠的在
线错误检测与校正。直线光栅提供的快速、与可靠的工作性能使其在自动光学检测系统(AOI)与飞
针测试仪中扮演着重要角色。使用点胶和焊剂的表面封装点胶、焊剂或表面封装都需要高产出、高速度、高、高重复性
和可靠性。要达到这样的性能,机器的设计者需要新的运动控制部件如精密直线导轨及直线电机,而要使其
发挥性能,则需借助于高速、非接触直线光栅。切片机对这一领域的产量、收益、可靠性和性能指标的需求正呈强劲上升
的趋势。为跟上潮流的步伐,切片机制造商需要不断提高其机器的性能。空气轴承、直线电机和陶瓷导轨的新
技术可大幅提高机器的性能,但若没有高品质的直线光栅,这些设计是不可能实现的。平板印刷(CTP)
为简化机器设计和节约成本,一些基于CTP 系统的旋转(鼓式)印刷机的制造商正在重新构思他们的机器并向平板印刷方向改进。不
同于旋转型的印刷机,平板印刷机采用高速直线电机驱动扫描头。印刷图象的清晰度是至关重要的,所
以制造商们依赖于高品质的直线光栅以控制直线电机的运动。RG2 再为这些应用领域展露所需的高速度、高可靠性和极小的周期误差
RESR 圆光栅
雷尼绍光栅具有的灵活性、市场的性能和低购买价格,使其成为机器设计者的。多年来,我们一
直帮助用户安装灵活的有锥度基面的圆光栅,从而获得许多关于圆光栅应用的知识。借助于这种经验,我们开发出了
一种圆光栅产品,其不止是一些特色的罗列,而更是能从根本上诠释用户使用意图的产品。RESR 圆光栅是基于雷尼绍的独一
无二的RGR 圆光栅基础开发出来的,它是在不锈钢圆环的表面使用了雷尼绍灵活的直线光栅。而RESR 圆光栅的刻线
是直接刻在圆环的外表面上的(栅距20μm 或40μm ),这样就消除了R G R 潜在的在接合处信号丢失的危险,简化了
安装过程并实现较高的速度。栅距20μm 的RESR 圆光栅使用雷尼绍新型的RGH20 读数头,而栅距40μm
的RESR 光栅使用RGH34 或RGH40 读数头。顺理成章地,所有读数头都具有雷尼绍的的光学滤波系统的设
计,可在有污物、划痕或油腻指纹情况下读数。RESR 有多种直径可选,所有内径有共同特色,即比外径小20mm,使它们
具有超小的截面和大的内径 — 易于安装所有必需的管线。这种轻薄的设计赋予其非常低的转动惯量,保证无论安装
在哪里,整个系统扭矩小,速度快。虽然横截面小,却不影响它的。事实上,与雷尼绍的获得的锥
度基面安装配合使用,所有的安装超差— 包括那些来自于原安装面的误差 —以及跳动或椭圆度都可通过简单而牢固
的调整获得补偿。为何要使用RESR?
l 系统为± 0.7″(光栅直径
为413mm)
l 角度分辨率为0.01″
l 多种直径和刻线数,与一系列的
工业标准的控制器兼容(直径从
52 m m 到413 m m,刻线数从
4,096 到64,800 )
l 高速、非接触的光学测量系统
l 零反向间隙
l 具有的锥度基面安装方式,
使安装简单、误差小
l 与高真空兼容
l 外型小巧,易于集成
l 低质量、低转动惯量
l 有100,150 和200 m m 外径的
超低转动惯量的圆光栅可选
RGH20 简介
l 与20μm 栅距RESR 圆光栅兼容
l 光学滤波系统提供优异的抗污迹
能力
l 小巧坚固的外壳
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 内置细分卡和安装LED 指示灯
l 分辨率从5 μm ,1 μm,0.5 μm ,
0.1μm,50nm,20nm 到10nm
l 参考零位或单限位开关传感器
l 高柔性双屏蔽8 芯电缆
l 三态低电平报警信号或全报警输出
l14.8mm(或10.5 mm )×36.
0mm×13.5mm (H×L×W)
l 可选高真空兼容型
RESR 系列
l 刻划达± 0.5″
l 系统达± 0.7″
l 分辨率达± 0.01″
l 重复性达± 0.01″
l 直径尺寸范围从ф 52 mm 到ф 413 mm
l 刻线数从4,096 到64,
RG4 系列产品种类
RGH41
l 与RGS40-S 钢带光栅兼容
l 小巧坚固的外壳
l 宽松的安装调整间隙和公差
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 内置细分卡和安装LED 指示灯
l 分辨率从10μm,5μm ,2 μm 到1μm
l 参考零位和双限位开关传感器
l 高柔性双屏蔽12 芯电缆
l 三态低电平报警信号或全报警输出
l 16.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W)
RGH34
l 与RGS40-S 钢带光栅和其它40μm 反射光栅兼容
l 与40μm 的RESR 圆光栅兼容
l 超小、紧凑的读数头
l 宽松的安装调整间隙和公差
l 质量<2g
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 紧凑的PCB 接口提供一系列的插补输出
l 分辨率从10μ m,5μ m,2μ m,1μ m,0. 4μ m 到
0.2μm
l FPC 带状电缆
l 参考零位和单限位开关传感器
l 三态低电平报警信号或全报警输出
l 9.5mmX15mmX15mm(HxLxW)
RGH40
l 与RGS40-S 钢带光栅兼容
l 与40μm 的RESR 圆光栅兼容
l 小巧、紧凑的读数头
l 宽松的安装调整间隙和公差
l 内置细分卡和安装LED 指示灯
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 紧凑的PCB 接口提供一系列的插补输出
l 分辨率从10μ m,5μ m,2μ m,1μ m,0. 4ìm 到0.2 μ m
l 参考零位和单限位开关传感器
l 高柔性双屏蔽12 芯电缆
l 三态低电平报警信号或全报警输出
l 17mmX44mmX27mm(HxLxW)
RGH40-G
l 镀铬刻线栅距为40 μ m的玻璃光栅尺
l 标准测量长度有1 2 0 、1 70 、2 2 0 、2 7 0 、3 0 0 、
500、750mm 和1000mm 可选
l 热膨胀系数<8.3 - 8.5ppm/℃
l :± 4.16μ m/m
l 可用金属夹或可选的自粘安装方式
l 同RGH40 读数头系列兼容
Series Type Cable Connector Option Adaptors
12 μA analogue
RGH22 C 05 / 10 / 15 / 30 C / F 00 A
50
1 Vpp differential analogue (B - single limit sensing, A - dual limit sensing)
RGH22 B / A 05 / 10 / 15 / 30 L / F 00 A
50
05 / 10 / 15 / 30 V / W
50
B 05 / 10 / 15 / 30 S 17 / 18
50
5 μm digital (D - single limit sensing, P - dual limit sensing)
RGH22 D / P 05 / 10 / 15 / 20 / 30 D / F 00 / 20 A
50
D 05 - 10 - 30 R
50
1 μm digital (X - single limit sensing, Q - dual limit sensing)
RGH22 X / Q 05 / 10 / 15 / 20 / 30 D / F 00 / 20 A
50
X 05 - 10 - 30 R
50
0.5 μm digital (Z - single limit sensing, R - dual limit sensing)
RGH22 Z / R 05 / 10 / 15 / 20 / 30 D / F 00 / 20 A
50
Z 05 - 10 - 30 R
50
0.1 μm digital (Y - single limit sensing, S - dual limit sensing, option 61 - 20 MHz, option 62 - 10 MHz, option 63 - 5 MHz)
RGH22 Y / S 05 / 10 / 15 / 20 / 30 D / F 61 / 62 / 63 A
50
Y 05 - 10 - 30 R
50
50 nm digital (dual limit sensing, option 61 - 20 MHz, option 62 - 10 MHz, option 63 - 5 MHz)
RGH22 H 05 / 10 / 15 / 30 D / F 61 / 62 / 63 A
50
RGH22 – ribbon top CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
Series Type Cable Connector Option
1 Vpp differential analogue, dual limit
RGH22 E 00 Z 24
5 μm digital, dual limit
RGH22 J 00 Z 24
1 μm digital, dual limit
RGH22 K 00 Z 24
0.5 μm digital, dual limit
RGH22 L 00 Z 24
0.1 μm digital, dual limit, 10 MHz
RGH22 M 00 Z 68
RGH24 CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
Options: 30 / 35 - 12 MHz customer clock, 31 / 36 - 8 MHz, 32 / 37 - 6 MHz, 33 / 38 - 4 MHz
Series Type Cable Connector Options Rm / Limit
(A/B)
12 μA analogue
RGH24 C 15 / 30 A / C / F 00 A
50
1 Vpp differential analogue
RGH24 B 15 / 30 A / L / F 00 A
50
5 μm digital
RGH24 D 15 / 30 A / D / F 00 A / B
50
RGH24 JST 00 Z 01
1 μm digital
RGH24 X 15 / 30 A / D / F 00 A / B
50
RGH24 JST 00 Z 01
0.5 μm digital
RGH24 Z 15 / 30 A / D / F 00 A / B
50
RGH24 JST 00 Z 01
0.2 μm digital
RGH24 W 15 / 30 A / D / F 32 / 33 A / B
50
RGH24 JST 00 Z 37 / 38
0.1 μm digital
RGH24 Y 15 / 30 A / D / F 30 / 31 / 33 A / B
50
RGH24 JST 00 Z 35 / 36 / 38
50 nm digital
RGH24 H 15 / 30 A / D / F 30 / 31 / 33 A / B
50
RGH24 JST 00 Z 35 / 36 / 38
20 nm digital
RGH24 I 15 / 30 A / D / F 30 / 31 / 33 A / B
50
RGH24 JST 00 Z 35 / 36 / 38
10 nm digital
RGH24 O 15 / 30 A / D / F 30 / 31 / 33 A / B
50
RGH24 JST 00 Z 35 / 36 / 38
RGH25U READHEADS - Obsoleted Dec 2008 CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
For use with RGB25 interfaces
Series Cable Connector Options Rm / Limit
AC / BD
RGH25U readheads
RGH25U 15 / 30 J 00 A / B
50
Vacuum compatible version also available
RGB25 INTERFACES - Obsoleted Dec 2008 CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
For Type Y and H only clock options 61 - 20 MHz, 62 - 10 MHz, 63 - 5 MHz
Series Type Alarm Rm / Limit Options
Normal / 3-State
RGB25 interfaces for RGH25 readheads
RGB25 C - 12 μA 00 only R / L 00
B - 1 Vpp
D - 5 μm 00 / 01
X - 1 μm
Z - 0.5 μm
Y - 0.1 μm 00 (normal + 3-state) 61 / 62 / 63
H - 50 nm
RGH25F READHEADS CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
For use with RGF25 interfaces
Series Cable Connector Options Reference Mark
RGH25F 15 / 30 J 00 A
50
Vacuum compatible version also available
RGF INTERFACES - Obsoleted Dec 2008 CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
For use with RGH25F and RGH20F readheads
Series Interpolation Factor Output Re-timing Housing
option
RGF 0100 H 250 (25MHz) (Length 100mm) A for RGH25F D for RGH20F
125 (12.5MHz)
060 (6MHz)
030 (3MHz)
010 (1MHz)
0200 250
125
060
030
010
0400 250
125
060
030
010
1000 250
125
060
030
010
2000 250 (Length 130mm) B for RGH25F E for RGH20F
125
060
030
010
REF INTERFACES - Replaced RGF and RGB interfaces (RGF and RGB obsolete end of 2008) CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
For use with RGH25F and RGH20F readheads
Standard digital output alarm options: A - All alarms; B - High and low signal alarms only
Tri state digital output alarms: E - All alarms; F - High and low signal alarms only
Series Interpolation Factor Alarm options Clocked output options Ref mark (A) / Limit options (B)
REF 0000 (Analogue) A (No alarm) 00 A / B
0004 A / B / E / F 50 (50MHz)
40 (40MHz)
25 (25MHz)
20 (20MHz)
12 (12MHz)
10 (10MHz)
08 (8MHz)
06 (6MHz)
05 (5MHz)
03 (3MHz)
01 (1MHz)
0020 50
40
25
20
12
10
08
06
05
03
01
0040 50
40
25
20
12
10
08
06
05
03
01
0100 50
40
25
20
12
10
08
06
05
03
01
0200 50
40
25
20
12
10
08
06
05
03
01
0400 50
40
25
20
12
10
08
06
05
03
01
1000 50
40
25
20
12
10
08
06
05
03
01
2000 50
40
25
20
12
10
08
06
05
03
01
4000 50
40
25
20
12
10
08
06
05
03
01
RGH26 READHEADS CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
This readhead is for use with Mitsubishi's MELSERVO?-J2-Super series range of servo amplifiers only
Series Type Cable Connector Option Configuration
5 μm digital
RGH26 P 05 N 00 A
1 μm digital
RGH26 Q 05 N 00 A
0.5 μm digital
RGH26 R 05 N 00 A
RESR angle encoders
See SiGNUM sheet for RESM angle encoders
20 μm RESR RINGS CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
Compatible with RGH20 readheads
Series Scale pitch Material Form Diameter (mm) Part number
RESR 20U - 20 μm S - stainless steel A - standard section 052 RESR20USA052
057 RESR20USA057
075 RESR20USA075
100 RESR20USA100
101 RESR20USA101
103 RESR20USA103
104 RESR20USA104
115 RESR20USA115
150 RESR20USA150
200 RESR20USA200
206 RESR20USA206
209 RESR20USA209
229 RESR20USA229
255 RESR20USA255
300 RESR20USA300
350 RESR20USA350
413 RESR20USA413
417 RESR20USA417
550 RESR20USA550
B - low inertia 030 RESR20USB030
075 RESR20USB075
100 RESR20USB100
115 RESR20USB115
150 RESR20USB150
200 RESR20USB200
40 μm RESR RINGS CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
Compatible with RGH40 readheads
Series Scale pitch Material Form Diameter (mm) Part number
RESR 40U - 40 μm S - stainless steel A - standard section 052 RESR40USA052
057 RESR40USA057
075 RESR40USA075
100 RESR40USA100
103 RESR40USA103
104 RESR40USA104
115 RESR40USA115
150 RESR40USA150
200 RESR40USA200
206 RESR40USA206
209 RESR40USA209
229 RESR40USA229
255 RESR40USA255
300 RESR40USA300
350 RESR40USA350
413 RESR40USA413
417 RESR40USA417
550 RESR40USA550
B - low inertia 075 RESR40USB075
100 RESR40USB100
115 RESR40USB115
150 RESR40USB150
200 RESR40USB200
REFERENCE MARKS for RESR CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
Part number Notation Description UoM
Reference marks
A-9559-0650 RGM20SR Reference mark for RGH20 on RESR "A" ea
A-9559-0654 RGM20SRB Reference mark for RGH20 on RESR "B" ea
A-9559-0658 RGM34SR Reference mark for RGH34 on RESR "A" ea
A-9559-0666 RGM40SR Reference mark for RGH40 on RESR "A" ea
RGH20 – 20 μm RESR compatible readhead CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
Options: 30 - 12 MHz customer clock, 31 - 8 MHz, 32 - 6 MHz, 33 - 4 MHz, 12 - Fanuc compatible
Part number Type Cable Connector Options Reference mark
A
1 Vpp differential analogue
RGH20 B 15 / 30 A / L / F 00 A
50
5 μm digital
RGH20 D 15 / 30 A / D / F 00 / 12 A
50
1 μm digital
RGH20 X 15 / 30 A / D / F 00 / 12 A
50
0.5 μm digital
RGH20 Z 15 / 30 A / D / F 00 / 12 A
50
0.2 μm digital
RGH20 W 15 / 30 A / D / F 32 / 33 A
50
0.1 μm digital
RGH20 Y 15 / 30 A / D / F 30 / 31 / 33 A
50
50 nm digital
RGH20 H 15 / 30 A / D / F 30 / 31 / 33 A
50
RGH20F readheads CONTROL PANEL>> TOP OF PAGE>>
RGH20F low profile for use with RGF interpolators only - housing versions D & E only
RGH20 F 15 / 30 J 02 A