产品品牌：

德国JENAer

产品型号：

ZLM700

在德国，耶拿地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔（JENAer）公司生产的ZLM700双频激光干涉仪在同类产品中，由于具有独特的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理，德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪是真正意义上的双频干涉仪，并非单频干涉原理。 产品功能      定位、重复定位、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量，还能够测量数控机床回转台的定位和重复定位等，从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量，广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。 性能优势 l          真正意义上的双频激光干涉仪，频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”的区别。众所周知双频激光干涉仪更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。 l          全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上一家将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。 l          测量系统采用模块化设计，各种测量功能之间互不影响。若用户先期只需要干涉仪的部分功能（如仅测量直线度），则仅采购所需功能部分的光学部件（直线度光学镜），其他不需要的功能暂时可以不采购；若后期有其他功能的需求，补充采购功能对应的部件即可。 l          激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。 l          干涉镜采用差分干涉原理，系统更高，可达±0.4ppm。 l          计算机辅助光路调整，调整结果更准确。 l          采样频率更快，达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。 l          被测物体速度16m/s（可选）；采用高AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可高达为0.1nm）。 l          无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。 l          信号延时<200ns；对电磁干扰不敏感。 l          对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，请选用ZLM800型双频激光干涉仪，多可实现六轴联动。 工作原理 型ZLM700激光干涉仪使用氦氖激光器，采用双频外差式工作模式。激光稳频为+/-0.002ppm，640MHz的频差用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量，不会出现干扰误差，信号延时时间极短。 采用光纤电缆，把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上，避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此，ZLM700双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。 技术参数 型号：ZLM700 使用高性能数据处理器AE950 PCI He-Ne激光平均波长： 632.8 nm 激光稳频： 一小时2x10-9（±0.002ppm） 寿命内2x10-8（±0.02ppm） 系统（0-40℃时）： ±0.4ppm 光束直径： 6mm (可选3.2mm) 激光管突发输出功率： 1mW (激光等级2) 每束光可测量的轴数： 1 线性测量距离： 40m，可扩展为120m 角度测量范围： ± 15°，20m轴线范围 平面度测量范围： 20m行程 直线度测量范围： ± 5mm，2m或10m行程， 选用角度干涉仪可测30m行程 垂直度测量范围： ± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉仪 速度： 4m/s，可选16m/s 80rad/s，角速度 加速： 无限制 采样频率： 内部1MHz，外部40MHz 预热时间： 10分钟 /非线性： ±0.3nm (角隅反射镜) ±0.1nm (平面反射镜) 距离测量分辨率： 0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选 距离测量： (20°±0.5°) 使用AUK时 (20°±0.5°) 真空中时   ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 线性度测量分辨率： 0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选 线性度测量： (20°±0.5°) 使用AUK时 (20°±0.5°) 真空中时   ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 速度测量： ±0.5ppm实测值 角度测量分辨率： 0.015μrad (3x10-3 弧秒) 角度测量： ±0.1ppm实测值 平面度测量分辨率： 0.015μrad (3x10-3 弧秒) 平面度测量： ±0.2%实测值 ±0.05 弧度/米运行距离 直线度测量分辨率： 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 直线度测量： ±0.5%实测值，2m行程 ± 2.5%实测值，10m行程 垂直度测量分辨率： 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 垂直度测量： ±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒* 数据接口： 积分信号 32 Bit (实时时间) Dt » 20 ns 数据分析标准： ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA 工作环境： 温度：15°C-30°C 湿度：<90%无冷凝 储存环境： 温度：10°C-40°C 湿度：<95%无冷凝

应用光路图

以上为直线度测量示意图，包括水平方向直线度和垂直方向直线度

以上是平面度测量示意图

以上是垂直度测量示意图

 
以上是位移、线性度、速度、加速度、定位测量示意图

以上是对角测量示意图

 
以上是俯仰角测量示意图

以上是偏摆角测量示意图

以上是滚动角测量示意图

以上是回转台定位测量示意图

资料
耶拿尔双频激光干涉仪样本（中文）.pdf
激光干涉仪说明书（中文）.pdf