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产品属性
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- 产品品牌:
- ACEGEM
- 产品型号:
- ACEGEM
www.ace-gem.com卓耐科技自动光谱椭偏仪
与常规光谱仪器不同,椭偏具有同时拥有两把尺的功能,一把尺用来量材料的光学性质,一把尺用来量材料的结构信息。当前各种新材料,特别是薄膜材料在各种领域具有越来越广泛的应用。材料的性质跟结构非常依赖于其制备的设备及方法以及条件,因此采用椭偏方法表征在理解材料机理和发展相关器件及工业生产中的在线检测起很重要的作用。
产品特点
1移相器的应用消除了全波段范围内的测量盲点 .
2宽范围、高入射角度控制为用户提供了全方位的探索和研究需求.
3只需轻松点击鼠标即可到需要的入射角.
4强大的数据分析功能.
5允许用户自定义色散模型.
6全波长多角度同时数据拟合,EMA模型用于多成分化合物和表面粗糙度分析.
7具有实验数据和模拟数据三维绘图功能.
技术参数:
型号 UV330V UV330UV UV330UVN
光源 氙灯 氙灯 氙灯
波长范围 350-850 nm 250-1100 nm 250-1700 nm
波长 1 nm 1 nm 1 nm
光斑直径 1-3 mm 1-3 mm 1-3 mm
入射角范围 20°to 90°,自动控制 20°to 90°,自动控制 20°to 90°,自动控制
入射角控制 0.01° 0.01° 0.01°
椭偏参数准确性 tg(Psi)≤0.01 ,cos( Delta) ≤0.0001 tg(Psi)≤0.01 ,cos( Delta) ≤0.0001 tg(Psi)≤0.01 ,cos( Delta) ≤0.0001
样品台尺寸 Ø160 mm Ø160 mm Ø160 mm
信号噪音比(S/N) 优于100(响应时间2S) 优于100(响应时间2S) 优于100(响应时间2S)