膜厚测量仪ST4000-DLX
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产品品牌:
K-MAC科美仪器
产品型号:
ST4000-DLX 

  • 技术参数
  • 活动范围 200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12")
    测量范围 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
    光斑尺寸 40㎛/20㎛, 4㎛(option)
    测量速度 1~2 sec./site
    应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
    Intended for Wafer Measurement & OLED
    选项 Programmable Auto Z Stage
    参考样品(K-MAC or KRISS or NIST)
    焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
    附带照明 12v 100W Halogen Lamp

    • 主要特点
    • 尺寸 500 x 610 x 640 mm
      重量 45Kg
      类型 手动的
      测量样本大小 ≤ 8", 12"
      测量方法 无连接的
      测量原理 反射计
      特点

      测量迅速,操作简单
      非接触式,非破坏方式
      Print Function of Each View & Data Saving

    • 仪器介绍
    • 1996年以来,科美在半导体,平板显示器,电子物质,生命科学和化学分析上,研发和提供了独特的,先进的解决方案。科美,作为测量和分析技术市场上的领头和动力,以它突出的表现得到了世界范围的认可。