活动范围 ~300mm x 300mm
测量范围 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
光斑尺寸 40㎛/20㎛,4㎛(option)
测量速度 1~2 sec./site(fitting time)
应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measurement
选择 Transmittance Module
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
接物镜旋转器 Quintuple Revolving Nosepiecs
焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明 12v 100W Halogen Lamp

• 主要特点

• 尺寸 1100 x 1250 x 1550 mm
  重量 400kg
  类型 自动的
  测量方法 无连接的
  测量原理 反射计
  特征

  测量迅速，操作简单 
  非接触式，非破坏方式 
  的重复性和再现性 
  2D/3D 映射和造型 
  自动机械活动控制 
  电荷耦合器件照相机 
  自动调焦

• 仪器介绍

• 1996年以来，科美在半导体，平板显示器，电子物质，生命科学和化学分析上，研发和提供了独特的，先进的解决方案。科美，作为测量和分析技术市场上的领头和动力，以它突出的表现得到了世界范围的认可。