CS200(A)型数字式气体质量流量控制器
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传 真:86-10-64362923
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产品属性
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产品型号 | CS200(A) |
量程(N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
( 0~1,2,3,5,10,20,50)SLM | |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
±0.35% F.S.(<35% F.S.) | |
重复 | ±0.2% FS |
线性 | ±0.5% FS |
响应时间 | ≤1sec |
阀类型 | Normally Closed or Normally Open |
温度系数 | Zero: ≤±0.05% F.S./℃;Span: ≤±0.1% F.S.℃ |
零点漂移指标 | <0.6%F.S. per year without autozero |
表面粗糙度 | 25µinch |
工作环境温度 | (5~45)℃ |
数字信号接口 | RS485 |
模拟流量输出信号 | 0-5V和4-20mA |
模拟流量控制信号 | 0-5V和4-20mA |
电源要求 | ±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA) |
电连接器 | D sub 9 pins male,D sub 15 pins male |
工作压差范围 | (0.05~0.35) Mpa(≤10slm) (0.1~0.35) Mpa(>10slm) |
耐压 | 3MPa |
漏率 | 1×10-9 atm·cc / sec He(1×10-10 Pa·m3 / sec He) |
密封材料 | 氟橡胶Viton,耐氨橡胶Neoprene |
接头尺寸 | VCR1/4” M; SwagelokΦ3;SwagelokΦ6;Swagelok1/4”; |
重量 | 1kg |