D07-9F型大流量气体质量流量控制器
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产品品牌:
sevenstar
产品型号:
D07-9F气体质量流量控制器

D07-9F型 质量流量控制器 24VDC单电源供电,4~20mA输入输出信号 橡胶密封、模拟电路的MFC 分流器不易堵塞 国际标准接头用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体地质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 标准:     气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:     标准温度………………0℃(273.15K)     标准压强………………101325Pa   输入和输出: 输入电源………………24VDC,400mA 输入设定电压…………4~20mA(或1~+5VDC) 输出电压检测…………4~20mA(或1~+5VDC)                 技术性能指标

满量程流量范围(N2) 20SLM~250SLM
控制范围 2~100%F.S.
阀类型(及阀初始状态) 电磁调节阀(常闭)
准确度 ±2%F.S.
线性 ±0.5~2%F.S.
重复 ±0.2%F.S.
响应时间 ≤4sec
工作温度范围 5~45℃
  工作压差   ≤30SLM 0.05~0.3MPa
50~150SLM 0.1~0.3MPa
200~250SLM 0.15~0.3MPa
耐压 3MPa
漏气率 1×10-8atm.cc/sec He
通道湿材料 316L不锈钢、密封材料
静密封材料 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶)
动密封材料 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯)
接头选择 VCR 1/2”
Swagelok φ8、φ6、φ10、1/2”、1/4”、3/8”
抗电磁干扰 CE
重量 1.5Kg