D07-9F型大流量气体质量流量控制器
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产品属性
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满量程流量范围(N2) | 20SLM~250SLM | |
控制范围 | 2~100%F.S. | |
阀类型(及阀初始状态) | 电磁调节阀(常闭) | |
准确度 | ±2%F.S. | |
线性 | ±0.5~2%F.S. | |
重复 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤4sec | |
工作温度范围 | 5~45℃ | |
工作压差 | ≤30SLM | 0.05~0.3MPa |
50~150SLM | 0.1~0.3MPa | |
200~250SLM | 0.15~0.3MPa | |
耐压 | 3MPa | |
漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |
通道湿材料 | 316L不锈钢、密封材料 | |
静密封材料 | 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶) | |
动密封材料 | 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯) | |
接头选择 | VCR | 1/2” |
Swagelok | φ8、φ6、φ10、1/2”、1/4”、3/8” | |
抗电磁干扰 | CE | |
重量 | 1.5Kg |