D07-7K型高性价比气体质量流量控制器
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产品属性
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满量程流量范围(N2) | 5SCCM~10SLM | |
控制范围 | 2~100%F.S. | |
阀类型(及阀初始状态) | 电磁调节阀(常闭) | |
准确度 | ±1%F.S. | |
线性 | ±0.5~1%F.S. | |
重复 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤2sec | |
工作温度范围 | 5~45℃ | |
工作压差 | 0.1~0.5MPa | |
耐压 | 3MPa | |
漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |
密封材料 | 氟橡胶、氯丁橡胶 | |
电插头形式 | DB15 pin(Female) | |
接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ3hose |
Swagelok | 1/4”或φ6、φ3 | |
温度系数 | Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃ | |
重量 | 1.1Kg |