D07-7K型高性价比气体质量流量控制器
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产品品牌:
sevenstar
产品型号:
D07-7K

D07-7K型 气体质量流量控制器 高性能价格比、普通型产品 橡胶密封、模拟电路的MFC 7A型的更新换代型 管状分流,使用寿命长 用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精 密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制 气配气等行业。   标准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为: 标准温度………………0℃(273.15K) 标准压强………………101325Pa 输入和输出: 输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA 输入设定电压…………0~+5.00V 输出电压检测…………0~+5.00V                  技术性能指标 

满量程流量范围(N2 5SCCM~10SLM
控制范围 2~100%F.S.
阀类型(及阀初始状态) 电磁调节阀(常闭)
准确度 ±1%F.S.
线性 ±0.5~1%F.S.
重复 ±0.2%F.S.
响应时间 ≤2sec
工作温度范围 5~45℃
工作压差 0.1~0.5MPa
耐压 3MPa
漏气率 1×10-8atm.cc/sec He
密封材料 氟橡胶、氯丁橡胶
电插头形式 DB15 pin(Female)
接头选择 VCR 1/4”或φ4hose、φ3hose
Swagelok 1/4”或φ6、φ3
温度系数 Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃
重量 1.1Kg