产品品牌：

SEVENSTAR

产品型号：

CS200(C)

高质量金属表面产品，高，多气体多量程，自动调零，量程2sccm-30slm，表面处理：表面粗糙度16Ra或10Ra；电抛光Cr/Fe ratio >2.0；钝化CrO thickness >20 Angstroms，全金属密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet                 产品技术指标

产品型号	CS200-C
量程(N2)	( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
	( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM
	±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
	±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
重复	±0.2% FS
线性	±0.5% FS
响应时间	≤0.8 sec (SEMI E17-0600)
阀类型	Normally Closed or Normally Open
温度系数	Zero: ≤±0.02% F.S./℃；Span: ≤±0.05% F.S./℃
零点漂移指标	＜0.6%F.S. per year without autozero
表面粗糙度	10 µinch
工作环境温度	（0～50）℃
数字信号接口	Digital: RS485 DeviceNetTM
模拟流量输出信号	0-5V和4-20mA
模拟流量控制信号	0-5V和4-20mA
电源要求	±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA)
电连接器	D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTM male
工作压差范围	(0.05～0.35) Mpa（≤10slm） (0.1～0.35) Mpa（>10slm）
耐压	3MPa
漏率	1×10-10 atm·cc / sec He（1×10-11 Pa·m3 / sec He）
密封材料	Metal,Stainless Steel VV, 5Ra
表面化学成分	Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20
接头尺寸	VCR1/4” M SwagelokΦ6，Swagelok1/4” W-seal，C-seal
重量	1.2kg