特长规格型号表示方法特形外观尺寸图

压力控制方式是因为采用滚动膜片与计量膜合的伺服平衡方式，可以实现无尘室对应的精密的压力调整的超精密减压阀。

无尘规格

因为部品是不锈钢及氟橡胶，其他的部品全部为非电解镀镍处理，产生的杂质非常少。

歧管安装对应

歧管连接配管可能。

排气口装备

因为排气孔，溢流孔，可以连接排气用配管；排气空气及溢流空气都可以排到无尘室以外。

高

可以实现感度0.1%F.S.,反复再现性±0.1%F.S.的高控制。

• 缓冲装置
• 平衡装置
• 推压控制(1)
• 推压控制(2)
• 接合装置
• 张力控制装置