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品牌 日本山武Yamatake 型号 CMS
类型 质量流量计 测量范围 0-90（m3/h） 
等级 1%FS—3%FS 公称通径 1%FS—3%FS（mm） 
适用介质 空气/氮气/氧气/氩气/氢气/氦气/氨气/二氧化碳/城市煤气13A/甲烷/丙烷/丁烷 工作压力 0-1.5（MPa） 
工作温度 -10 到 60（℃）   

品牌：日本山武Yamatake(创立于1906年)
型号：CMS系列
类型：质量流量计
测量范围：2ML—2000L/MIN
等级：1%FS—3%FS
适用介质：空气/氮气/氧气/氩气/氢气/氦气/氨气/二氧化碳/城市煤气13A/甲烷/丙烷/丁烷
工作压力：0—1.5（MPa）
工作温度：-10 到 60（℃）

质量流量计算CMS系列是使用了山武独自开发的超微小流速传感器—UF（microflow）传感器的新一代气体质量流量计。UF传感器无以伦比的卓越性能，加上独自开发的整流机构，使得本产品以相当于浮子式流量计的价格实现了高、高分辨率、宽测量范围的气体质量流量测量。

特点：
1：由于采用直接质量流量测量，因此实现了不受温度、压力变动影响的测量
2：实现了3%RD的高，0.5%FS的重复性、100:1的高量程能力，同时也满足了低价格的要求
3：CMS具有瞬时、累计流量显示、模拟输出、累计脉冲输出、事件输出2点、模拟输出定标功能以及RS-485通信功能
4：采用独特的管内壁测量方式，实现了500PA（CMS200压力49KPA）的低压力损失.