高纯水,电瓶高纯水,工业高纯水,工厂高纯水,制药高纯水
高纯水的级别 
4．1高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水，分别用符号EH和pH标志。
4. 2电子级高纯水
4．2．1在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有如下特点：
a．具有精细图形结构；
b．对器件表面有特殊要求；
c．工艺对水质有特定的严格要求。
4．2．2电子级高纯水分为两个级别：特级和I级。它们的标志分别是：
特级电子级高纯水：EH—T
电子级高纯水：EH—1
4．3普通高纯水
4．3．1普通高纯水用于一般电力半导体器件的制造工艺中。
4．3．2普双高纯水分为三个级别：Ⅰ级、Ⅱ级和Ⅲ级。它们的标志分别是：
I级普通高纯水：pH—Ⅰ
x级普通高纯水：PH—Ⅱ
m级普通高纯水：pH—Ⅲ
4. 4电阻率低于5MΩ·cm的水不能称为高纯水。

5技术要求
5．1电子级高纯水
5．1．1电子级高纯水应考核四项内容：
a. 水中自由离子浓度(主要影响电阻率)；
b．水中悬浮微粒的数量和大小；
C. 水中有机物总量；
d. 水中细菌微生物状况。
5. 1. 2电子级高纯水的各项技术指标由表1给出。


表l 
指 　　　标  级别  
EH— T  EH-I 
电阻率，MΩ·cm(25℃)  18 (90％时间）
小17 16~18 (90％时间）
小15 
大于1μm微粒数.个／mL ＜1 1 
 大于0．5um微被数
(值)，个／mL 100  150 
 细菌个数，个／mL  ＜1  1 
 总有机碳含量(值)，μg／L 50 100 
全硅(值)，μg／L 2 10 
氯含量(值)，μg／L  0.5 2 
钾含量(值)，μg／L  0.2 1 
钠含量(显大值)μg／L 0.2 1 
钙含量(值)，μg／L 0.5 1 
铝含量(值)，μg／L 0.5 1 
铜含量(值)，μg／L 0.1 1 
总可溶性固体含量(值)，μg／L  3 10